Kleine, schnelle Kippplattform

Physik Instrumente (PI) hat für Kippspiegelsysteme die piezobasierte Kippplattform S-335 entwickelt, die sich für Anwendungen mit Kippwinkeln bis 35 und optischen Ablenkwinkeln bis 70 Millibogensekunden sowie hohen dynamischen Anforderungen eignet.

17. August 2017

Kippspiegelsysteme steuern Laserstrahlen präzise und schnell in Anwendungen wie der Scanning-Mikroskopie oder der Lasermaterialbearbeitung und Lasergravur. Sie sind kompakt und bieten eine hohe Dynamik und Linearität sowie kurze Einschwingzeiten.

Der parallelkinematische Aufbau aus zwei orthogonalen Kippachsen, die auf eine gemeinsame Plattform wirken, sorgt in der Kippplattform für identische Leistungsmerkmale beider Achsen. Das spezielle Design der Festkörpergelenke ermöglicht reibungsfreie Bewegung, hohe Steifigkeit und Betriebsfrequenzen von mehr als 100 Hertz. Der kleinste Schrittwinkel beträgt eine Mikrobogensekunde.

Mit Abmessungen von 34,5 x 34,5 x 56,5 Millimeter Höhe ist die Kippplattform sehr kompakt und benötigt in der Anwendung nur wenig Platz. Die eingesetzten Picma-Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert und laut PI daher konventionellen, nicht keramisch isolierten Aktoren in Leistung und Lebensdauer weit überlegen.

Der monolithische Piezokeramikblock ist vor Luftfeuchtigkeit und gegen Ausfälle durch erhöhten Leckstrom geschützt und erreicht so auch unter extremen Umgebungsbedingungen eine hohe Anzahl an Bewegungszyklen. Im Gegensatz zu elektromotorischen Antrieben gibt es außerdem keine rotierenden Teile oder Reibung.

Die Piezoaktoren sind dadurch spiel-, wartungs- und verschleißfrei. Für die Ansteuerung eignet sich der digitale Mehrkanal-Piezocontroller E-727. Bei der Inbetriebnahme identifiziert sich die Kippplattform per ID-Chip beim Controller, dann werden die passenden Betriebsparameter automatisch geladen. Die Kippplattform, die sich für Spiegel bis zu 25,4 Millimeter Durchmesser eignet, ist optional auch mit Spiegel erhältlich.

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