Kompakt und kostenoptimiert

Digitaler Piezocontroller von Physik Instrumente

19. November 2010

Der E-709 eröffnet die Möglichkeiten der digitalen Regelung für piezogetriebene Nanopositioniersysteme zu den Kosten analoger Controller. Er wurde für Piezoaktoren und Nanopositioniertische, die mit günstigeren Mess-Systemen wie DMS oder piezoresistiven Sensoren ausgerüstet sind, ausgelegt. Der Nutzen: Höhere Genauigkeit und einfachere Bedienung. Dafür stellt PI die volle Funktionalität der umfangreichen Softwarepakete kostenlos zur Verfügung! Für Anwendungen, die analoge Steuersignale zu Verfügung stellen, kann der E-709 trotzdem eingesetzt werden. Zusätzlich zu den digitalen Schnittstellen können über einen analogen Eingang externe Steuer- oder Sensorsignale eingelesen und verarbeitet werden. Ein analoger Ausgang ist konfigurierbar zur Ansteuerung externer Verstärker oder zur Ausgabe der Positionswerte.

Erstmalig eröffnet der Piezocontroller E-709 die Vorteile der digitalen Regelung für die kompakten Systeme mit Dehnungssensoren. Diese Sensoren basieren auf der Dehnung von Metall- oder Halbleiterfolien (piezoresistive Sensoren) und werden verwendet, wenn kein Platz für die aufwändigeren kapazitiven Sensoren vorhanden ist oder wenn die Anforderungen an Auflösung oder Temperaturstabilität nicht unterhalb einem Nanometer liegen.

Die eingeschränkte Linearität dieser Sensoren kann durch digitale Regler verbessert werden, indem zusätzliche Rechenalgorithmen die Abweichung zwischen Soll- und Istposition minimieren. Damit wird die Linearität um bis zu eine Größenordnung verbessert und erreicht Werte von bis zu 0,02%.