Tests haben gezeigt, dass die eine Seite der Membrane mit bis 20 bar Überdruck belastet werden kann und dies bei einem Niederdrucksensor mit wenigen mbar Messbereich. Das ist ein bahnbrechender Vorteil zu den herkömmlichen piezoresistiven MEMS Drucksensoren. Die disruptive Technologie zeichnet sich weiter durch einen äußerst geringen Stromverbrauch, eine sehr hohe Auflösung und Genauigkeit aus.

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Der Sensor-Chip besitzt zwei Mess- und zwei Referenzkapazitäten. Dieser Aufbau sorgt für eine sehr gute Offset-Stabilität und fast kein Drift. Im Gegensatz zu den aufwendigen Doppel-Chip Lösungen auf piezoresistiver Basis, die es auf dem Markt gibt, ist beim PPCP3 alles auf einem Sensor Die integriert und somit wesentlich preiswerter und einfacher zu produzieren.

In Anwendungen wie Touchscreens oder Näherungsschaltern hat sich die kapazitive Technologie bereits durchgesetzt und durch den Einsatz im Consumer-Bereich in den letzten Jahren rasant weiterentwickelt. Die Zeit ist nun reif für kapazitive MEMS Drucksensoren – durch die technologisch bedingten Vorteile werden diese die Drucksensorik in den nächsten Jahren revolutionieren.

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Sensor+Test, Halle 1, Stand 333