Neuer vertikaler Hubtisch AVS1000

Präzise Positionierung und durchgehende Öffnung

02. September 2011

Der Hubtisch AVS1000 ist das neueste Mitglied der umfangreichen Aerotech-Familie von vertikalen Hubtischen Z-Achsen zur Mikropositionierung. Er eignet sich zum Bewegen großer und schwerer Lasten im Submikronbereich und kann bei der Halbleiterfertigung, der automatischen Werkzeugjustage, der optischen Inspektion und der Laser-Mikrobearbeitung eingesetzt werden.

Der AVS1000 hat dank seines Keildesigns eine niedrige Arbeitshöhe von nur 140 mm und ist mit einem servomotorgetriebenen Spindelantrieb mit linear geführten Hochleistungslagern ausgestattet. Die Gesamtabmessung beträgt 450 mm x 500 mm. Er bietet erhebliche Vorteile gegenüber herkömmlichen Modellen zur Z-Achsen-Positionierung. Lasten können direkt über dem Lagersystem positioniert werden, die Geradheit über den gesamten Verfahrweg garantiert hohe Ebenheit der Tischoberfläche und außergewöhnliche Gesamtpräzision.

Eine große durchgehende Öffnung ermöglicht den Einsatz des AVS1000 in den Bereichen Mikroskopie und Bildgebung, bei denen eine optische Achse vollständig durch den Tisch hindurchlaufen muß. Werkstückhalterungen lassen sich innerhalb der Öffnung und unterhalb der Tischoberfläche anbringen, sodass die niedrige Arbeitshöhe voll genutzt werden kann.

Der vertikale Hubtisch hat eine Tragkraft von 135 kg. Der Verfahrweg beträgt 5 mm, auf Wunsch sind Sonderanfertigungen mit anderen Verfahrwegen möglich. Ein Rotationsencoder mit 1000 Impulsen möglicht eine Positionierungsauflösung von 5 Nanometer, die kalibrierte Genauigkeit des Hubtisches liegt unterhalb von +/- 1,0 Mikrometer, die bidirektionale Wiederholbarkeit bei bis zu +/- 0,5 Mikrometer.

Die aus Aluminium bestehende Basis der Standardausführung ist mit einer strapazierfähigen anodisierten Beschichtung in Schwarz versehen. Für Anwendungen, die Schutz gegen elektrostatische Entladung erfordern, ist eine Ausführung mit vernickelter Oberfläche erhältlich. Darüber hinaus werden eine Reinraum-Ausführung sowie Vakuum-Versionen für 10-3 oder 10-6 Torr angeboten.