Neues Piezo-Nanopositioniersystem

Große Apertur, hohe Ansteuerdynamik, schnelle Einschwingzeiten und kompakte Abmessung: PI startet eine neue Produktlinie linearer Nanopositioniersysteme für ein breites Anwendungsfeld. Die Versteller der Serie P-630 qualifizieren sich zum Beispiel für den Einsatz in Sensorköpfen oder die präzise Objektbewegung in der optischen und taktilen Messtechnik sowie für die Mikrostrukturierung.

09. Mai 2014

Mit Stellwegen bis 80 Mikrometern und einem direkten piezoaktorischen Antrieb bieten die flachen und schmalen Verstelleinheiten hohe Scanfrequenzen und Einschwingzeiten von wenigen Millisekunden. Bei einer Breite von nur 50 Millimetern besitzen sie eine große Apertur mit 30 Millimetern Durchmesser.

Die Antriebstechnologie der hochdynamischen Piezo-Nanopositioniersysteme basiert auf vollkeramisch isolierten PICMA® Piezoaktoren. Sie haben nachweislich eine höhere Lebensdauer und Zuverlässigkeit als herkömmlich polymerisolierte Aktoren.

Die Positioniergenauigkeit und Stabilität im Bereich einzelner Nanometer wird durch einen integrierten kapazitiven Wegmesssensor erreicht.

Eine optimale Ansteuerung erfolgt mit dem leistungsfähigen einkanaligen Motion Controller E-709.CHG. Seine Digitaltechnik ermöglicht fortgeschrittene Linearisierungsalgorithmen zur Verbesserung der Genauigkeit und die einfache Optimierung von Betriebsparametern per Software.

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