Picoactuator von PI

Bleifreier Piezoaktor mit hoher Linearität ermöglicht höhere Systembandbreite

05. Mai 2011

PI Ceramic ist einer der weltweit führenden Hersteller auf dem Gebiet aktorischer und sensorischer Piezoprodukte. Mit dem Picoactuator bietet PI Ceramic Längs- und Scheraktoren an, die aus dem kristallinen piezoelektrischen Material PIC 050 bestehen.

Im Unterschied zum klassischen Piezoaktor aus Bleizirkonat-Bleititanat (PZT) zeigen Picoactuatoren eine in hohem Maß lineare Auslenkung. Konkret: 10 mal höhere Linearität bei 10 mal geringerer Auslenkung machen Picoactuatoren „klein aber fein“. Picoactuatoren sind konfigurierbar bis zu Höhen von 20 mm und maximalen Stellwegen von +/-3 µm.

Einsatzgebiete liegen in der Präzisions-Positioniertechnik, wenn die geringe Auslenkung ausreicht, und gleichzeitig hohe Dynamik und Genauigkeit (Linearität) erforderlich sind. Die hohe Linearität ermöglicht den Betrieb ohne Positionsregelung, wodurch die Dynamik und Systembandbreite um bis zu eine Größenordnung verbessert werden kann.

Anwendungsbeispiele dafür sind Probenscanner in der Rasterkraftmikroskopie mit mehreren 100 Hz Scanfrequenz. Ebenfalls für die hochauflösende Mikroskopie werden klassische Piezoscanner mit einer vertikalen Achse mit Picoactuatoren versehen, die Abweichungen vom planaren Scan in der Z-Achse auf bis unter 1 Nanometer reduzieren.