Piezoelektrische Scanner mit Ablenkwinkeln

Physik Instrumente erweitert Kipp-Plattform-Serie

03. Juni 2008

Physik Instrumente hat die schnellen Kipp-Plattformen der Serie S-330 um größere Ablenkungen erweitert: zusätzlich zu den Kippwinkeln von bislang 2 mrad sind jetzt auch Varianten mit 5 bzw. 10 mrad erhältlich. Die hohe Resonanzfrequenz beträgt bei allen Varianten mehr als 3 kHz und ermöglicht dadurch sehr schnelle Scanbewegungen. Die Dynamik ist für die beiden orthogonalen Kippachsen aufgrund des symmetrischen Aufbaus identisch. Positionsgeregelte Systeme erlauben die präzise und stabile Positionierung mit Auflösungen von bis zu 0,05 µrad.

Mit dem E-616 steht ein eigens für Piezokippspiegel entwickeltes System zu Verfügung, das die Funktionen eines mehrkanaligen Reglers und Verstärkers vereint. Diese flexible Elektronik kann sowohl für Kippspiegel mit Drei- als auch mit Vierbein-Design verwendet werden. Flexibel ist der Controller auch deshalb, weil mittels interner Hardware eine Koordinatentransformation durchgeführt wird, sodass die Ansteuerung direkt proportional zum Ablenkwinkel erfolgen kann. Dadurch entfällt für den Anwender die Transformation per Software bzw. externer Verschaltung.