Präzise betrachten

Piezosystem Jena erweitert seine Objektivpositionierer-Reihe Mipos mit zwei neuen Produkten für die präzise Handhabung von Mess- und Prüftechnik in der Industrie.

23. November 2015

Die Objektivpositionierer der Serie Mipos von Piezosystem Jena werden stabil an das Mikroskop angeschraubt. Jetzt hat der Hersteller die Serie um zwei neue Positionierer erweitert, die nicht mehr an einem Mikroskop angebracht werden, sondern sich an einer Maschine oder Schiene anbringen lassen.

Aufgrund des speziellen Konstruktionsprinzips wird die optische Achse beim Mipos 140 nicht verlängert. Die Position der Optik bleibt nach dem Einbau unverändert erhalten und der Fokuspunkt verbleibt an der gewünschten eingestellten Position. Der Mipos 140 OEM vermeidet so Kollisionen und bietet hochpräzise Positionierung von Objektiven mit einem Gewicht von bis zu 500 Gramm.

Mit einem Stellbereich von 100 Mikrometern im geregelten beziehungsweise 140 Mikrometer im ungeregelten Betrieb erreicht der Positionierer eine Auflösung im Sub-Nanometer-Bereich. Sie kann mit DMS, kapazitiven oder alternativen Sensoren zur Positionsbestimmung ausgestattet werden, wodurch Kriechen und Hysterese vermieden werden. Die Mipos 140 OEM wirkt in beliebiger Einbaulage aufrecht in Waferinspektionsmaschinen aber auch waagerecht in optischen Bänken und Laseraufbauten.

Der Objektivpositionierer Mipos 250 SG verfügt über einen Verstellbereich von 250 Milrometer im Open-Loop-Betrieb. Er ist so konzipiert, dass er an eine Planfläche angeschraubt werden kann, da er sehr eben gefertigt ist. Dies kann eine optische Bank sein oder eine Schiene innerhalb einer Maschine. Die hohe Parallelität der Fläche macht diese Mipos ideal für einen Einsatz in der Mess- und Prüftechnik, sowie in der Halbleiterindustrie beispielsweise in der Maskeninspektion.

Die für Standardmikroskopgewinde erhältlichen Einschraubringe machen die Mipos 250 universell einsetzbar. Das bewährte Parallelogrammprinzip garantiert dabei eine hochparallele Bewegung ohne Spiel und ohne Beeinflussung der optischen Achse. Somit ist eine Feinfokussierung auch mit hochauflösenden Objektiven möglich. Ausgestattet mit einem Dehnmessstreifensensor werden bei der Mipos Drift und Hysterese minimiert.

Einsatzgebiete für die Objektivpositionierer sind die industrielle Messtechnik, die Mess- und Prüftechnik, die Maskeninspektion sowie Anwendungen in der Optik und Halbleiterindustrie.