Ultragenau auf kurzen Wegen

Lineartische für Nanopositionierung

11. November 2009

Positionierung im Nanometer-Maßstab ermöglichen die Lineartische der Serie ANT130-L des Nürnberger Antriebsspezialisten Aerotech. Die Baureihe umfasst vier Modell mit Verfahrwege von 35 bis 160 Millimeter. In jedem dieser Bereiche kann zwischen zwei zertifizierten Genauigkeitsstufen von ±2 Mikrometer und ±250 Nanometer gewählt werden. Die Positionsstabilität liegt bei 3 Nanometer, die Positionierauflösung beträgt 1 Nanometer. Der Antrieb durch einen zentrumsgetriebenen bürstenlosen Servo-Linearmotor mit integriertem 40-MHz-Linearwegencoder über Kreuzrollenlager mit Anti-Schlupfregelung gewährleistet einen ruckfreien Betrieb ohne Hysterese. Der stabile zweiteilige Aluminiumtisch mit Hartschalen-Beschichtung bietet eine Tragfähigkeit bis zu 12 Kilogramm.